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            VENA-500

            VENA-500

            詳細介紹

            VENA系列自動匹配器用于真空鍍膜、等離子刻蝕、等離子清洗、物理氣象沉積,化學氣象沉積,磁控濺射,以及太陽能制造設備PECVD等設備當中,主要功能是實現全自動匹配,解決了現在國內真空鍍膜設備中的一個技術空缺;具有自動,快速,可靠,高效,準確,節省人力和時間等特點??蛇x的射頻系統檢測模塊可實時檢測出系統的正反功率、駐波比、射頻信號峰值電壓、電流、直流偏置電壓等,從而使您能夠發現并顯著降低制程變化性。

            優勢

            ●性能安全可靠,長時間工作穩定
            ●實時反射功率測量與控制
            ●優化設計、安裝、使用與維修十分簡便
            ●傳輸效率高,運行噪音小
            ●屏蔽效果好
            ●可外接匹配控制盒,與其他射頻功率發生器配合使用

            特點

            ●加強了鍍膜與刻蝕工藝的控制
            ●優化的匹配算法加速匹配時間
            ●最大限度地減少駐波比與反射功率
            ●嚴格的可靠性測試

            使用參數:

            匹配功率范圍

            0-500W

            工作頻率:

            13.56MHZ

            正常工作反射功率

            <3W

            匹配時間

            <3S

            傳輸效率

            >90%

            匹配器電源

            AC220V/50-60HZ

            輸入連接器

            N型

            輸出連接器

            UHF

            控制模式

            手動/自動

            可設預置點數

            7

            匹配阻抗范圍

            實部0-80Ω 虛部-j200-j200(可根據負載調節阻抗)

            匹配器尺寸

            340X230X130 MM

            整機重量

            5.5KG

            冷卻方式

            強制風冷

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